一、服务背景
服务对象：常州银河世纪微电子股份有限公司，是专注于半导体分立器件研发、生产与销售的企业，具备 IDM 模式下的一体化经营能力，产品广泛应用于汽车电子、工业控制、网络通信、消费电子等领域，于 2021 年 1 月在上交所上市。
诉求：企业半导体生产过程中产生酸碱废气与 VOCs 有机废气两类污染物，需满足国家及地方半导体行业废气排放标准，实现稳定达标排放；同时要求治理设备适配洁净车间工况，具备强耐腐蚀性、运行稳定性高、运维简便等特性，保障生产线连续合规运转。
二、服务过程
针对两类废气的排放特性定制分质治理方案，采用「酸碱废气洗涤净化 + 有机废气活性炭纤维吸附」的组合工艺，提供从方案设计、设备制造到安装调试的全流程服务。
- 酸碱废气治理单元采用多级废气洗涤塔系统，废气经风机引风进入塔体底层填料床，通过内外夹套式均压室完成匀风后低速上升；循环泵输送中和药剂（根据现场工况适配碱液等吸收液）自上而下喷淋，与废气形成逆流式洗涤。塔内填充 PP 特拉瑞带刺花环填料，填料间呈点接触排布，引导废气沿 “Z/W 型” 不规则路径流动，彻底避免偏流、沟流问题；配套螺旋式高流量防阻塞喷嘴，气液两相混合效率达 97% 以上，确保酸碱污染物与吸收液充分中和反应。经单机或多级洗涤串联净化后，废气中酸碱组分被高效脱除。
- VOCs 有机废气治理单元针对项目低浓度有机废气的工况特点，选用活性炭纤维吸附净化工艺。净化器采用三段式结构，分为进风段、炭纤维过滤段与出风段，过滤段由多组过滤筒组成。有机废气经集风系统均匀进入箱体，通过活性炭纤维滤筒时，VOCs 组分被高性能纤维吸附截留，净化后的洁净气体经风机达标排放。该工艺吸附效率高、运行阻力低、滤材更换便捷，适配半导体厂区低浓度大风量的有机废气治理需求。
整套系统配套集风管、加药系统、配电系统与自控单元，运行参数可实时监控调节，适配半导体厂区精细化管理要求。
三、服务结果
- 排放稳定达标：项目完工调试后，酸碱废气、VOCs 有机废气的出口浓度均符合《电子工业污染物排放标准》及地方环保管控要求，一次性通过环保验收。
- 设备运行可靠：洗涤塔采用全 PP 耐腐材质，适配酸碱腐蚀工况，长期运行无泄漏、老化问题；活性炭纤维吸附单元能耗低、阻力小，整套系统可 24 小时连续稳定运行，完全匹配生产线满负荷生产节奏。
- 运维管理便捷：设备结构设计合理，填料清洗、滤筒更换、药剂补充等日常维护操作简便，无需专人值守，有效降低了厂区运维人员的工作负荷与管理成本。
四、客户反馈
这套废气治理系统投用以来运行一直很稳定，排放数据全程达标，完全符合半导体行业的环保管控要求。酸碱洗涤塔的净化效果很稳定，没出现过堵塞、腐蚀的问题，有机废气吸附单元的运维也很简便。项目从方案设计到安装交付都很专业，对接响应及时，很好地保障了我们生产线的合规连续运行。
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